（1）

基板尺寸

500mm*500mm

（2）

基板平整度

＜10u

（3）

基板浸润性

＜15°

（4）

基板温度

23±2℃

（1）

类型

异丙醇、DMF、DMSO等有机溶剂或其它混合溶剂

（2）

粘度

1~70CPS

（3）

固含量

7%~50%

（1）

成膜方式

狭缝式涂布

（2）

粘度

300nm~10um（干膜）

（3）

成膜均一性

片内≤5%，片间≤5%

序号

项目

技术参数

备注

1

材质

SUS630

2

涂布宽幅

450mm

3

平面度/直线度

≤3um

4

内腔粗糙度

Ra≤0.025

5

狭缝间隙

垫片式，垫片厚度均匀性≤±2um

6

间隙调节范围

≤±10um

7

除边范围

≤10mm

8

涂布头防撞组件

低于唇口20um，有效防止唇口发生碰撞

9

涂布头校正

采用高精度直线位移传感器自动校正

10

排泡设计

模头腔室高位排泡孔

序号

项目

技术参数

备注

1

泵体材质

SUS316L

2

密封圈材质

耐腐蚀密封圈

3

泵容积

5ml

4

驱动控制

伺服电机、滚珠丝杆

5

吐液控制分辨率

0.01ul/s

6

响应时间

0.01s

7

吐液速度

0~2000ul/s

8

最大吐液加速度

2000ul/s²

9

功能配置

1）供液泵补液后自动泄压功能；

2）出液延时功能；

3）末端回吸功能；

4）自动补液功能；

5）多段式涂布调节；

序号

项目

技术参数

1

Z轴数量

2个

2

Z轴分辨率

0.1um

3

Z轴驱动控制

伺服电机、研磨级丝杆、导轨

4

Z轴重复定位精度

≤5um

5

Z轴速度区间

0~50mm/s

6

Y轴驱动形式

平台驱动

7

Y轴驱动控制

伺服电机、研磨级丝杆、导轨

8

Y轴速度区间

0~200mm/s

9

Y轴运动面精度

优于±5um

10

Y轴重复精度

≤5um

11

功能配置

1）涂布加速、减速可设定调节；

2）Coating Gap可调；

3）末端回吸Gap可调；

序号

项目

技术参数

备注

1

材质

000级花岗岩

2

适配基板尺寸

500*500mm

3

表面平整度

水平度≤±5um

4

基板定位

平台真空吸附

5

基板对位方式

手动

6

取放片方式

手动

序号

项目

技术参数

备注

1

管路材质

PFA

2

供液罐

剥离材质，100ml容积

3

供液方式

罐体加压

4

清洗罐

不锈钢材质

序号

项目

技术参数

备注

1

预涂方式

预涂平台

2

模头唇口清洗

手动

3

浸泡、排液槽

设备闲置、管路清洁、排废时使用

序号

项目

技术参数

备注

1

触摸屏

预涂平台

2

Log记录功能

每片基板涂布过程可查看，包含涂布机各轴在涂布过程中各时间点速度位置参数

3

操作权限

三种操作权限登录

设备手动、半自动、自动动作可全部在界面进行操作